潔淨係統工程（chéng）-瑞（ruì）斯達實（shí）驗（yàn）室設計

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潔淨係統（tǒng）工程

: system description無塵潔淨係統的定義

潔淨室是（shì）指將一定空（kōng）間範圍內的空（kōng）氣中（zhōng）的微粒子、有害氣體、細菌等汙染物排除，並將（jiāng）室內溫度、潔淨度、室（shì）內壓（yā）力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照（zhào）明、靜電控製在（zài）某（mǒu）一（yī）需求範圍內（nèi），而給予特別設計的房間。潔淨室（shì）最主要之作用在於控製產品(如矽芯片等)所（suǒ）接觸之大氣的潔淨度日及溫濕度，使產品能在一（yī）個良好之環境空（kōng）間（jiān）中生產（chǎn）、製造，此空（kōng）間（jiān）我們稱之為「潔淨室」。

Technical element 潔淨室的（de）四大技術要素

1、送風至少經過三級過濾（lǜ）(粗（cū）效、中（zhōng）效和高效)，並且高（gāo）效過濾器應（yīng）設置在係統的末端。

2、潔（jié）淨（jìng）室應有足夠的除塵（chén）和空調的送（sòng）風量（liàng）。

3、潔淨室應維持必要的壓力梯度(正壓梯度或負壓（yā）梯度)。

4、潔淨室應有合理的氣流組（zǔ）織。

潔淨室（shì）·技（jì）術（shù）參數和標準（zhǔn）

締造健康安全（quán）的實驗環境

Clean room level潔淨室等級

淨（jìng）化等級一般分為100級、1000級、10000級（jí）、100000級，現在2010年版的（de）GMP淨化車間已經（jīng）不用（yòng）這個（gè）叫（jiào）法（fǎ）了，分為ABCD級別，分別相對應於（yú）98版（bǎn）的（de）幾個級別，通過檢測區域內的塵埃粒子數、浮遊菌數、沉降均數評（píng）價淨化級別（bié），各（gè）個級別（bié）有不同的要（yào）求，淨化（huà）等級（jí）分靜態、動態兩種。

世（shì）界各國均有（yǒu）自定規格，但普遍還是用美國聯邦標準209為（wéi）多，以下僅（jǐn）就209D及209E和世界上其它各國製定標準（zhǔn）作介紹與相（xiàng）互比（bǐ）較。

209E與209D等最大之（zhī）不同在於209E表示單位增加了公製單位，潔淨室（shì）等級以‵M′字頭表（biǎo）示（shì），如（rú）M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推，配合公製（zhì）單位之（zhī）標準化，M字母後之阿拉伯數目字是以每（měi）立方公尺中>=0.5μm之微塵（chén）粒子數（shù）目字以10的冪次方表示，取指數為之，若（ruò）微（wēi）塵粒子（zǐ）數介於前後二者完全冪（mì）次方之（zhī）間，則以1.5、2.5、3.5….表示。

潔淨網（wǎng）:Wg1pj 美國聯邦標準FS 209D都以英製每立（lì）方英呎為單位，日本則是采用公製，即以每立方公尺為單位，以0.1μm微粒子為計數（shù）標（biāo）準（zhǔn）。日本標準之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最好的等級為Class 1，最差則為Class 8，以每立方公尺中微塵（chén）粒子總數中化（huà）為10的冪次方，取其指數而（ér）得。

潔（jié）淨（jìng）室·控管（guǎn）之項目

締造健康安全的實（shí）驗環境